氦氣壓縮機是低溫泵系統或其他制冷單元的驅動單元，用于向低溫泵或其他制冷單元提供高純度氦氣。首要使用于半導體前道制程設備的蒸騰、濺射和離子注入的真空系統，同時在地輿、航天、醫療等領域也有廣泛的使用。氦氣壓縮機可以驅動不同尺寸的低溫泵,依照法蘭的口徑分成：8英寸、10英寸和16英寸，也可以用于不同制造商生產的低溫泵。那么關于其保養也是比較重要的，下面我們一起來進行了解下吧。

　　1、每天保養。檢查油位，檢查空濾芯和冷卻劑液位，檢查軟管和一切管接頭是否有泄露狀況，檢查易耗件現已到了替換周期有必要停機予以替換，檢查主機排氣溫度，抵達或挨近98℃，有必要清洗油冷卻器檢查分離器壓差，抵達0.6 Bar以上或壓差開端有下降趨勢時應停機替換分離芯等。

　　2、每月保養。檢查冷卻器，必要時予以清洗，檢查一切電線銜接狀況并予以緊固，檢查交流接觸器觸頭，清潔電機吸風口外表和殼體外表的塵埃，清洗回油過濾器，檢查空氣壓縮機設定與運轉是否共同。

　　3、每季度保養。清潔主電機和電扇電機，替換油過濾芯，清潔冷卻器，檢小壓力閥、安全閥，檢查傳感器。

　　4、每年保養。替換潤滑油及油氣分離器濾芯，替換空氣過濾器濾芯，油過濾器，安全閥校準，檢查彈性聯軸器，檢查冷卻電扇，清洗自動排污閥，彌補或替換電動機潤滑油脂。